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谈判采购 公告
公告编号： DZXYGG202407230003
一、采购项目基本情况
采购人：无锡华润上华科技有限公司
采购项目编号：DZCGXY202407230002
采购项目名称：PENKIE1 对位报警维修
采购内容或范围：
是否采用费率寻源：否
二、供应商资格要求

1. wafer loader传输重复性:AVR<±10um，repeatability<15um，测量次数为60次，连续7天。 2. 每日对位报警次数降低90%:现状每日报警70—100次），即不超过8次。（统计一个月数据为准） 3. 该设备能够作业:该设备能够作业一次光刻 4. 保修期:保修期半年